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サムコ、化合物半導体製造装置が好調

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サムコ<6387>は
化合物半導体などの製造装置を製造しています

化合物半導体とは
シリコン半導体のような
1つの元素を材料にした半導体ではなく
窒化ガリウム、ガリウムヒ素や炭化シリコンをベースとして
複数の元素を組み合わせて作る半導体です
耐熱性、低消費電力などの優れた特性があり
発光する化合物半導体もあります

サムコの主力製品は
化合物半導体の製造に使用される
ドライエッチング装置
CVD装置
ドライ洗浄装置です

エッチング装置は
半導体の表面に微細な溝を彫る装置です
薬液に浸して加工するウェットエッチングに対し
サムコは
ガスを化学反応させ加工するドライエッチング装置を製造しています

CVD装置は
半導体の表面にガスを原料として薄膜を堆積する装置です
サムコのCVD装置は
プラズマでガスに化学反応を起こさせることにより
半導体や電子材料の微細な溝に防水・絶縁のための薄膜を堆積させています

サムコの
ドライ洗浄装置は
薬液ではなく
紫外線やオゾンのほか
プラズマにより化学反応を起こしたガスで
半導体の表面を洗浄します

 

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